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半導(dǎo)體晶圓顯微鏡JX-23A

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JX系列大工作平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡，采用研究級(jí)顯微鏡R照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng)，人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升，照明均勻，成像清晰，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)

詳細(xì)介紹

JX系列大工作平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡，采用研究級(jí)顯微鏡R照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng)，人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升，照明均勻，成像清晰，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。突破性的大金相機(jī)架設(shè)計(jì)，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。

光學(xué)系統(tǒng)	無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀察方式	明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC
觀察筒	30°傾斜	0°- 35°傾斜
	正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺ㄓ^察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，分光比：100:0或0:100
目鏡	高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào)
物鏡	明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡5X、10X、20X、50X
轉(zhuǎn)換器	明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽
調(diào)焦機(jī)構(gòu)	反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm；帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置，內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。
載物臺(tái)	8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái): 平臺(tái)面積525mm×330mm 移動(dòng)范圍：210mm×210mm	12×14英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái): 平臺(tái)面積420mm×718mm，移動(dòng)范圍：305mm×356mm；
	低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)；玻璃載物臺(tái)板，（反射用）
晶圓輔助臺(tái)	選配
反射照明系統(tǒng)	明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心均可調(diào)；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
攝影攝像	0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦
其他	起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；DIC微分干涉組件；反射用干涉濾色片組；高精度測(cè)微尺