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半導(dǎo)體晶圓顯微鏡JX-22A

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

◆性能特點(diǎn)：1、系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動(dòng)載物臺(tái)，適合大工件的檢查

詳細(xì)介紹

◆性能特點(diǎn)：
1、系統(tǒng)配置了大尺寸、大范圍移動(dòng)載物臺(tái)，適合大工件的檢查。
2、采用大視野目鏡和長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡，視場(chǎng)寬闊、平坦,成像清晰。
3、采用“T"型防振結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，機(jī)械載物臺(tái)可慢速或快速移動(dòng)試樣。
4、整機(jī)采用了防霉處理，保護(hù)了鏡頭，延長(zhǎng)了儀器的使用壽命。

5、配置了偏光裝置并可選配暗場(chǎng)、微分干涉裝置，拓展了功能。。

◆典型應(yīng)用：
1、分析金屬、礦相內(nèi)部結(jié)構(gòu)組織。2、電子廠PCB板、芯片檢驗(yàn)。
2、觀察材料表面的某些特性，如：劃痕、裂紋、噴涂的均勻性

序號(hào)	名稱	技術(shù)參數(shù)
01	平場(chǎng)目鏡	大視野 WF10X(Φ18mm)
02	長(zhǎng)距平場(chǎng)物鏡	PLL5X/0.12、10X/0.25、20X/0.40、40X/0.60(可選配半復(fù)平場(chǎng)消色差物鏡)
03	總放大倍數(shù)	50X-400X
04	觀察頭	三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
05	轉(zhuǎn)換器	四孔 (外向式滾珠內(nèi)定位)
06	粗微調(diào)調(diào)焦范圍	粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值0.7μm, 粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置
07	載物臺(tái)	三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 280mmX270mm,移動(dòng)范圍: 204mmX204mm (標(biāo)配8寸移動(dòng)臺(tái)，可選6寸)
08	光瞳距離	53-75mm
09	濾色片	藍(lán)、磨砂
10	落射照明系統(tǒng)	6V 20W鹵素?zé)?/span>,亮度可調(diào)
10	落射照明系統(tǒng)	帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍(lán),綠)濾色片和磨砂玻璃