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半導(dǎo)體晶圓顯微鏡JX-23B

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北京老上光儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

JX系列大工作平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡，采用研究級(jí)顯微鏡R照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng)，人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升，照明均勻，成像清晰，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)

詳細(xì)介紹

JX系列大工作平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡，采用研究級(jí)顯微鏡R照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng)，人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升，照明均勻，成像清晰，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。突破性的大金相機(jī)架設(shè)計(jì)，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。

光學(xué)系統(tǒng)	無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀察方式	明場
觀察筒	30°傾斜
	正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺ㄓ^察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，
目鏡	高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào)
物鏡	無限遠(yuǎn)平場物鏡 5X、10X、20X、50X、100X
轉(zhuǎn)換器	內(nèi)傾五孔轉(zhuǎn)換器
調(diào)焦機(jī)構(gòu)	粗微動(dòng)同軸調(diào)焦，行程 29mm 微動(dòng) 0.002mm/ 格，0.2mm/ 圈；
載物臺(tái)	8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái): 移動(dòng)范圍：200mm×200mm 帶離合手抦可實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)	17×12英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái): 移動(dòng)范圍：430mm×305mm；帶離合手抦可實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)
	低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)；玻璃載物臺(tái)板，（反射用）
晶圓輔助臺(tái)	選配
反射照明系統(tǒng)	明場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心均可調(diào)；檢偏和起偏裝置
攝影攝像	1X攝像接筒，C型接口