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產品簡介
VPS-QZ05石英真空等離子處理儀是一款針對實驗室需要專門開發(fā)的小型臺式等離子清洗機，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內部無電極。即放電能量從處理器外部施加，可以避免電極的腐蝕和反應物在極板沉積的問題。
VPS-QZ05石英真空等離子處理儀應用：PDMS鍵合、引入特定官能團、等離子灰化、表面親疏水改性、提高粘接性
VPS-QZ05石英真空等離子處理儀特點：處理過程中不會引入污染物、操作簡單、適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
產品參數
型號 | VPS-QZ05 |
頻率 | 13. 56 MHz |
功率 | 0-200W連續(xù)可調 |
腔體材質 | 優(yōu)質石英 |
腔體容積 | 5L |
腔體尺寸 | Φ150×290（D）mm |
氣體流量控制器 | MFC 質量流量控制器 |
氣路數量 | 2 路氣體，常用O2、Ar2、N2，H2、等（腐蝕性氣體需定制） |
真空測定系統 | 皮拉尼真空硅管 |
極限真空度 | 1Pa |
控制方式 | PLC+4.3寸觸摸屏 |
真空泵 | 油泵/干泵（選配） |
電源供應 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) |
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