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超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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產(chǎn)品簡介

核心理念采用優(yōu)異的成像技術(shù)SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。采用多通道成像技術(shù)隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的。支持不同形狀樣品、多種觀察方法?大型樣品觀察?低真空觀察

詳細(xì)介紹

概述

產(chǎn)品參數(shù)

核心理念

采用優(yōu)異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。
采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的。
支持不同形狀樣品、多種觀察方法
?大型樣品觀察
?低真空觀察
?超低溫觀察
?實(shí)時(shí)觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是。
支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍，束流可達(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

成像能力

追求信息的檢測系統(tǒng)

隨著用戶對(duì)樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對(duì)檢測系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。

產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目			內(nèi)容
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.8 nm/15 kV
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.9 nm/1 kV
放大倍率			20～2,000,000 x
電子槍	發(fā)射體		ZrO/W熱場發(fā)射（肖特基熱場發(fā)射）
	加速電壓		0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV）
	束流		200 nA
探測器	標(biāo)準(zhǔn)探測器		UD （上探測器)
			MD （中探測器）
			LD （下探測器)
	選配探測器*1		PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器）
	選配探測器*1		UVD（高靈敏度低真空探測器）
低真空模式*1	樣品倉壓力范圍		5～300 Pa
低真空模式*1	可使用探測器		PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達(dá)臺(tái)	馬達(dá)臺(tái)控制		5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
	移動(dòng)范圍	X	0～135 mm
		Y	0～100 mm
		Z（WD）	1.5～40 mm
		T（傾斜角）	-5～70°
		R（旋轉(zhuǎn)角）	360°
	樣品尺寸		直徑：φ200 mm, 高度：80 mm
顯示器*1			23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏
圖像顯示模式	全屏顯示模式		1,280×960像素顯示
	單屏顯示模式		800×600像素顯示
	雙屏顯示模式		800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
	四屏顯示模式		640×480像素顯示
	六屏顯示模式*2		640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存	保存圖像尺寸		640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件			能譜儀（EDX）
			X射線波譜儀（WDX）
			電子背散射衍射（EBSD）
			陰極熒光探測器（CL)
			冷凍傳輸系統(tǒng)
			各種功能樣品臺(tái)