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河南酷斯特儀器科技有限公司


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真空感應區(qū)熔爐 區(qū)域熔煉提純爐

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產品型號

品       牌

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更新時間:2025-01-09 11:57:41瀏覽次數:54次

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產品簡介

一·設備用途:1.提純金屬、半導體、有機和無機的化學材料;2.區(qū)熔致勻(使一種欲摻入的雜質十分均勻地分布在整個單晶體中)3.焊接和測量液體中的擴散率等

詳細介紹

  • 一·設備用途:

    1. 提純金屬、半導體、有機和無機的化學材料;

    2. 區(qū)熔致勻(使一種欲摻入的雜質十分均勻地分布在整個單晶體中)

    3. 焊接和測量液體中的擴散率等。

    二·設備優(yōu)點:

    1·區(qū)熔加熱爐采用往復區(qū)熔的方式,閉環(huán)溫度控制,可靠的控制熔區(qū)的寬度問題;生長室的設計成功解決生長室的污染問題,

    2·將加熱及保溫材料均設置在生長腔室外部,采用高純石英作為腔室,同時抽真空;將流動高純氫氣通入腔室,去除腔室中的微量氧,解決氧化的問題;

    3·開發(fā)高柔性的控制軟件,采用觸摸屏進行操作,任意設置區(qū)熔的溫度,區(qū)熔的速度及次數。

    三·主要技術參數

    1.***加熱溫度:1100℃使用溫度:500-1000℃

    2.設備功率:25Kw±10%三相380v 50Hz(三相五線制)

    3.感應電源功率:15Kw±10%三相380v 50Hz(三相五線制)
    4.冷態(tài)極限真空度:   ≤6.7×10-4Pa

    5·石墨舟尺寸:Ф70*200mm(內徑*長度,半圓柱)

    6·石英管(腔室)尺寸:¢100*1200(根據實際情況做調整)

    7·加熱方式:高頻感應加熱

    9·區(qū)熔行程及速度:位移行程≦1000mm

    慢速:1-10mm/h(伺服控制)精度0.01mm

    快速:50-200mm/min(伺服控制)可根據客戶需求設計

    10.爐內充氣壓力:≤0.03MPa(氬氣)

    11·充氣系統(tǒng):      自動充放氣

    12.區(qū)熔溫區(qū):1溫區(qū)

    13.石英管法蘭連接方式:真空水冷密封法蘭形式,留KF25真空接口,法蘭材質304不銹鋼

    14.控制方式:觸摸屏+plc


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