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氬氣純化設(shè)備

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聯(lián)系人:吳經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

處理氣量:(1-200)Nm3/h壓力:≤1.0Mpa氬氣純度:≥99.999%露點(diǎn):≤-70℃含氧量:≤1.5ppm含氫量:≤0.5ppm含氮量:≤4ppmΣCH≤1ppm廣泛應(yīng)用于:熔硅單晶爐配套使用,激光器、濺射、半導(dǎo)體生產(chǎn),氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的有關(guān)科研和生產(chǎn)部門

詳細(xì)介紹

處理氣量:(1-200)Nm3/h
壓力:≤1.0Mpa
氬氣純度:≥99.999%
露點(diǎn):≤-70℃
含氧量:≤1.5ppm
含氫量:≤0.5ppm
含氮量:≤4ppm
ΣCH≤1ppm
廣泛應(yīng)用于:
熔硅單晶爐配套使用,激光器、濺射、半導(dǎo)體生產(chǎn),氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的有關(guān)科研和生產(chǎn)部門。

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