七星華創(chuàng)質(zhì)量流量控制器流量計
特點
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 管狀分流，使用壽命長D07-7是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是七星流量計基礎款產(chǎn)品，能滿足客戶流量測控基本需求。
七星華創(chuàng)質(zhì)量流量控制器流量計
技術參數(shù)
編號 |
項目 |
D07-7K 型 |
D07-7B 型 |
D07-7C 型 |
D07-7CM 型 |
1 |
流量規(guī)格 |
(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
|
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
2 | 準確度 | ±1 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S |
3 | 線性 | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S |
4 | 重復精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
5 | 響應時間 |
電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec
|
電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec |
電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec |
10 sec |
6 | 氣壓降 |
ˉ |
ˉ |
ˉ | <0.01 mpa=""> |
7 | 工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | <0.01 mpa=""> |
8 | 溫度系數(shù) | Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; | ˉ | ˉ | ˉ |
9 | 最大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
10 | 耐壓 | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa |
11 | 工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
12 | 輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
13 | 電源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA
|
14 | 外形尺寸 |
見圖4 |
見圖4 |
見圖4 |
見圖5 |
15 | 重量 | 1.1 kg | 1.1 kg | 1.1 kg | 0.92 kg |
D07-7是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是七星流量計基礎款產(chǎn)品，能滿足客戶流量測控基本需求。D07-7是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量 。D07-7產(chǎn)品是七星流量計基礎款產(chǎn)品，能滿足客戶流量測控基本需求。
