高分辨：
放大倍率15萬倍
5nm分辨率
1kV~30kV加速電壓選擇 ，圖像分辨率高
使用方便：
Tilt（ 0~90 ）載物臺配置（可選擇）
通過選配EDS可進行元素成份分析
掃描電鏡,體型小巧, 占用空間小
產品特性：
自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品
采用二次電子和背散電子雙重探測器
掃描電鏡能譜一體機：
原廠集成能譜儀
高真空設計,可調式電壓,為不同樣品提供更合適的檢測環(huán)境
E-150系列掃描電鏡技術參數
分辨率
5nm (30kV,SE)
放大倍率
20x~150,000x
加速電壓
~30kV
探測器
SE探測器 ，可選配BSE探測器 ，EDS等
電子槍
預對中鎢燈絲
透鏡系統(tǒng)
聚光鏡 ：2段式磁線圈透鏡
物鏡 ：1段式磁線圈物鏡
載物臺
3軸(X,Y, R,)X,Y軸40mm/R軸 ：360 °
可選5軸樣品臺 ：X:40mm,Y:40mm,Z:40mm,R:360°,T:0 ~90 °
圖像偏移
X,Y軸圖像偏移(±150μm)
光闌
可調節(jié)光闌(30/50/50/100μm)
樣品尺寸
高度35mm時直徑80mm
圖像掃描
快速掃描 ：320*240 低速掃描 ：640*480
圖片模式1:1280*960 圖片模式2:2560*1920 圖片模式3:5120*3840
自動功能
自動啟動、 自動亮度對比度調節(jié)、 自動初始化
圖像存儲格式
BMP,JPEG,PNG,TIFF
圖片顯示數據
放大倍率、探測器類型、加速電壓、真空模式、比例尺、LOGO、 日期和時間
真空方式
高真空模式 ，機械泵 ，分子泵 ，抽真空時間 ：3分鐘以內
設備尺寸
460(W)*600(L)*950(H)mm
運行環(huán)境
溫度 ：15~30℃,濕度 ：≤70%電源 ：單相220AC1KW 50/60Hz
樣品效果：
氧化鋁陶瓷粉顆粒
LED合金線
LED弧線不良
| 型號 | E-150系列 | ||
| E-150S-MS | E-150D-MS | E-150D-ST | |
| 電子系統(tǒng) | |||
| 分辨率 | 5nm (30kV) | ||
| 放大倍率 | 30x~150,000x | ||
| 加速電壓 | 1~30kv（6檔可選） | ||
| 探測器 | SE 探測器 | SE/BSE 探測器 | SE/BSE 探測器 |
| 圖像檢測 | 二次電子圖像 | 多探測器電子圖像 | 多探測器電子圖像 |
| 電子槍校正 | 手動校正 | ||
| 偏壓系統(tǒng) | 自動偏壓系統(tǒng) | ||
| 燈絲類型 | 預對中鎢燈絲 | ||
| 鏡頭系統(tǒng) | 聚光鏡：2段式磁線圈透鏡 | ||
| 樣品臺 | |||
| 載物臺控制方式 | 3軸手動 | 5軸自動 | |
| 載物臺移動范圍 | 3軸手動（X,Y,R,)X,Y軸 40mm / R軸 : 360° | 5軸自動（X,Y,R,T,Z)X,Y軸 40mm / R軸 : 360°, | |
| 圖像偏移 | X,Y軸圖像偏移（±150μm） | ||
| 光闌 | 可調節(jié)光闌（30/50/50/100μm） | ||
| 樣品尺寸 | 高度35mm時直徑80mm | ||
| 圖像處理 | |||
| 圖像掃描 | 快速掃描：320*240 低速掃描：640*480 | ||
| 自動功能 | 自動啟動、自動亮度對比度調節(jié)、自動初始化 | ||
| 圖像存儲格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | ||
| 圖片顯示數據 | 放大倍率、探測器類型、加速電壓、真空模式、比例尺、LOGO、日期和時間 | ||
| 真空系統(tǒng) | |||
| 真空方式 | 全自動型、高真空模式（旋轉式機械泵）100L/min,(渦輪式分子泵）70L/S. 抽真空時間：3分鐘 | ||
| 操控系統(tǒng) | |||
| 電腦系統(tǒng) | 微軟操作系統(tǒng) Windows® 10 / 11 | ||
| 連接方式 | USB接口 | ||
| SENSE應用軟件 | |||
| 應用軟件 | 圖像文件打開，編輯，存儲功能長度，面積，角度等測量功能,設置數初始化，圖像拍攝模式轉換，Archives, Setting(EDS)模式等 | ||
| 儀器體積和重量 | |||
| 設備尺寸 | 460*600*950mm | ||
| 真空泵 | 400*160*340mm | ||
| 重量 | 130kg | ||
| 設備環(huán)境 | |||
| 運行環(huán)境 | 溫度：15~30℃，濕度：≤70% 電源：單相220AC 1KW 50/60Hz | ||
