可按照個(gè)人需求進(jìn)行測(cè)量的
顯微鏡
無(wú)論樣品大小、簡(jiǎn)單還是復(fù)雜，或執(zhí)行測(cè)量的人員經(jīng)驗(yàn)如何，奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測(cè)量顯微鏡。
優(yōu)異的光學(xué)性能
STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。
因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
花崗巖精制而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性
為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平，并大大降低誤差。
簡(jiǎn)單易用的高精度3軸測(cè)量
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要 — 不僅是XY軸平面的測(cè)量，Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。為此，奧林巴斯開(kāi)發(fā)了采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)。
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精度，此外，在安裝系統(tǒng)時(shí)，奧林巴斯還提供可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
由Olympus Corporation測(cè)試與分析中心頒發(fā)并由ILAC-MRA校準(zhǔn)認(rèn)證機(jī)構(gòu)（JCSS、JAB）認(rèn)證的校準(zhǔn)證書(shū)。
可追溯系統(tǒng)因不同時(shí)期和國(guó)家/地區(qū)而異。STM7校準(zhǔn)中使用的樣品已在各個(gè)國(guó)家/地區(qū)進(jìn)行了校準(zhǔn)。奧林巴斯。
可靠的模塊化系統(tǒng)
五種配置讓您可以靈活選擇所需功能。
觀察方法
BF：明場(chǎng)
DF：暗場(chǎng)
DIC：微分干涉對(duì)比度
POL：偏振光
選件：選件
適合您的樣品的載物臺(tái)
常見(jiàn)問(wèn)題
短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求{? 由于X軸測(cè)量區(qū)域短于Y軸測(cè)量區(qū)域，因此必須旋轉(zhuǎn)樣品
由于可測(cè)量的范圍窄，無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量
STM7解決方案
STM7提供300 mm x 300 mm載物臺(tái)，能夠測(cè)量較大的樣品，包括300 mm晶圓和印刷電路板。
X軸和Y軸測(cè)量區(qū)域長(zhǎng)度相等，因此無(wú)需旋轉(zhuǎn)樣品
較長(zhǎng)的X軸和Y軸測(cè)量區(qū)域允許在載物臺(tái)上排列多個(gè)樣品，實(shí)現(xiàn)更高效的測(cè)量
z大測(cè)量行程300 mm x 300 mm
提供三款具有不同測(cè)量行程的載物臺(tái)供選擇：100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)適合您的應(yīng)用。
更多倍率選擇和長(zhǎng)工作距離
常見(jiàn)問(wèn)題
大多數(shù)傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡只能使用測(cè)量物鏡或金相物鏡，無(wú)法同時(shí)滿足多種觀察要求
STM7解決方案
STM7可滿足多種觀察要求。它不僅允許您根據(jù)自身的需求進(jìn)行低倍率和高倍率觀察、測(cè)量需要超長(zhǎng)工作距離物鏡的不均勻樣品，甚至還能提供各種觀察方法
突破性的控制單元改進(jìn)了可用性
常見(jiàn)問(wèn)題
增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作員可能無(wú)法快速找到相應(yīng)的操作單元，這顯著降低了測(cè)量效率
操作單元過(guò)多及其分布在主機(jī)周圍的電源會(huì)占用寶貴的工作空間
STM7解決方案
幾乎所有測(cè)量顯微鏡操作都可以在最近的操作單元上高效完成
無(wú)論添加多少功能，系統(tǒng)只需要使用單一操作單元和電源，從而釋放了工作空間
控制箱
各個(gè)單元的電源和通信都集成在單一控制箱中。即使是添加一些可選功能（如聚焦導(dǎo)航器等）也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計(jì)可以大大減少了對(duì)工作空間的占用。
手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦選項(xiàng)
提供手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦控制選項(xiàng)。您可以根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型，而不需要考慮載物臺(tái)的尺寸 — 所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺，可進(jìn)行3軸測(cè)量。
自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)提高效率
常見(jiàn)問(wèn)題
傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬量調(diào)節(jié)無(wú)法實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量評(píng)估，這可能導(dǎo)致測(cè)量值隨光強(qiáng)的變化而變化
使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后可能都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)，從而導(dǎo)致工作流程效率低下
STM7解決方案
由于顯微鏡提供光強(qiáng)值的定量顯示，因此始終能在相同的條件下進(jìn)行觀察和測(cè)量
將光強(qiáng)度管理器與編碼物鏡轉(zhuǎn)換器搭配使用時(shí)，切換物鏡后，照明方法和光強(qiáng)會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)為預(yù)設(shè)值
使用可拆卸數(shù)顯表快速檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)
常見(jiàn)問(wèn)題
因需要檢查設(shè)備運(yùn)行狀況（如照明）或查看不同單元上的測(cè)量值，這使得整體操作非常繁瑣
STM7解決方案
STM7系列通過(guò)單獨(dú)的指示器顯示區(qū)顯示顯微鏡狀態(tài)（如照明）和測(cè)量值，有助于用戶輕松完成所有檢查
STM7規(guī)格（手動(dòng)型號(hào)） |
| 手動(dòng)型號(hào) | |||||
| 小型載物臺(tái) | 中型載物臺(tái) | 大型載物臺(tái) | |||
| 顯微鏡主體 | STM7-SF | STM7-MF | STM7-LF | ||
| 聚焦 | 垂直移動(dòng)范圍 | 175 mm | 145 mm | ||
| 測(cè)量高度 | 120 mm（使用測(cè)量物鏡） 175 mm（使用金相物鏡） | 90 mm（使用測(cè)量物鏡） 145 mm（使用金相物鏡）*1 | |||
| Z軸測(cè)量分辨率 | 0.1 um | ||||
| Z軸驅(qū)動(dòng)方法 | 手動(dòng)同軸微調(diào)焦/粗調(diào)焦旋鈕 | ||||
| 照明 | LED 照明 | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 | |||
| 觀察鏡筒 | MM6-ETR正像三目鏡筒（100:0/0:100） | ||||
| 目鏡（F.N.22） | MM6-OCC10X（帶十字線）、MM6-OC10X | ||||
| 物鏡 | BF（明場(chǎng)） | MM6C-KMAS 照明 | |||
| U-5RES-ESD 物鏡轉(zhuǎn)換器 | |||||
| MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金相物鏡 | |||||
| BF（明場(chǎng)）/DF（暗場(chǎng)） | MM6C-RLAS 照明 | ||||
| U-D5BDRES-ESD 物鏡轉(zhuǎn)換器 | |||||
| LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD 金相物鏡 | |||||
| LED 裝置 | 白色（反射） | MM6-ILW | |||
| 綠色（透射） | MM6-ILG | ||||
| 載物臺(tái) | STM7-CS100 | STM7-CS200 | STM7-CS300 | ||
| 測(cè)量范圍 | X軸100 mm，Y軸100 mm | X軸200 mm，Y軸200 mm | X軸300 mm，Y軸300 mm | ||
| 測(cè)量精度 （L：測(cè)量長(zhǎng)度） | (3+2L/100) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/300) μm | ||
| 精度保證重量 | 6 kg | 10 kg | 15 kg | ||
| 計(jì)數(shù)器 | STM7-DI | ||||
| 軸數(shù) | 三軸 | ||||
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | ||||
| 分辨率 | 0.1 um | ||||
| 控制箱 | STM7-CB | ||||
| 手控開(kāi)關(guān) | STM7-HS | ||||
| 聚焦控制器 | － | ||||
| 接口線纜 | － | ||||
| 防振基座 | － | STM7-VI | |||
| 電源線纜 | UYCP | ||||
| 尺寸（寬x深x高）mm | 466 x 583 x 651 | 606 x 762 x 651 | 804 x 1024 x 686 | ||
| 重量（kg） | 84 kg | 152 kg | 277 kg | ||
| 功耗 | 100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A | ||
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
| 物鏡 | 1X | 3X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | ||
| 測(cè)量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | － | － | － | |
| 金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場(chǎng) | － | － | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN系列 | 長(zhǎng)工作距離 | － | － | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 | |
| MPLFLN-BD系列 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng) | － | － | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | |
| LMPLFLN-BD系列 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)，長(zhǎng)工作距離 | － | － | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 | |
STM7-BSW系統(tǒng)要求
| 項(xiàng)目 | |
| CPU | 對(duì)于STM7-CU相機(jī)，需要Intel Core i3處理器3 GHz或更高；對(duì)于DP23/DP28相機(jī)，需要Intel Core i5或同等或更高級(jí)別處理器 |
| 內(nèi)存 | 對(duì)于STM7-CU相機(jī)，為4 GB或更高；對(duì)于DP23/DP28相機(jī)，至少需要8 GB，建議16 GB |
| 硬盤(pán)可用空間 | 安裝需要100 GB或更大硬盤(pán)空間，建議使用SSD硬盤(pán)以實(shí)現(xiàn)高速圖像采集 |
| 顯卡 | 支持分辨率1980 x 1080和32位色的顯卡 |
| 驅(qū)動(dòng)器 | DVD驅(qū)動(dòng)器 |
| PC輸入設(shè)備 | 2鍵鼠標(biāo)（建議使用帶滾輪的3鍵鼠標(biāo)）、鍵盤(pán) |
| 操作系統(tǒng) | Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations（64位） |
| 網(wǎng)絡(luò)瀏覽器 | Internet Explorer 11 |
STM7規(guī)格（電動(dòng)型號(hào)） |
| 電動(dòng)型號(hào) | ||||
| 中型載物臺(tái) | 大型載物臺(tái) | |||
| 顯微鏡主體 | STM7-MFA | STM7-LFA | ||
| 聚焦 | 垂直移動(dòng)范圍 | 175 mm | 145 mm | |
| 測(cè)量高度 | 120 mm（使用測(cè)量物鏡） 175 mm（使用金相物鏡） | 90 mm（使用測(cè)量物鏡） 145 mm（使用金相物鏡）*1 | ||
| Z軸測(cè)量分辨率 | 0.1 um | |||
| Z軸驅(qū)動(dòng)方法 | 電動(dòng)
| |||
| 照明 | LED 照明 | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 | ||
| 觀察鏡筒 | MM6-ETR正像三目鏡筒（100:0/0:100） | |||
| 目鏡（F.N.22） | MM6-OCC10X（帶十字線）、MM6-OC10X | |||
| 物鏡 | BF（明場(chǎng)） | MM6C-KMAS 照明 | ||
| U-5RES-ESD 物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||||
| MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金相物鏡 | ||||
| BF（明場(chǎng)）/DF（暗場(chǎng)） | MM6C-RLAS 照明 | |||
| U-D5BDRES-ESD 物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||||
| LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD 金相物鏡 | ||||
| LED 裝置 | 白色（反射） | MM6-ILW | ||
| 綠色（透射） | MM6-ILG | |||
| 載物臺(tái) | STM7-CS200 | STM7-CS300 | ||
| 測(cè)量范圍 | X軸200 mm，Y軸200 mm | X軸300 mm，Y軸300 mm | ||
| 測(cè)量精度 （L：測(cè)量長(zhǎng)度） | (3+4L/200) μm | (3+6L/300) μm | ||
| 精度保證重量 | 10 kg | 15 kg | ||
| 計(jì)數(shù)器 | STM7-DI | |||
| 軸數(shù) | 三軸 | |||
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | |||
| 分辨率 | 0.1 um | |||
| 控制箱 | STM7-CBA | |||
| 手控開(kāi)關(guān) | － | |||
| 聚焦控制器 | STM7-MCZ | |||
| 接口線纜 | U-IFCBL200 | U-IFCBL200 | ||
| 防振基座 | STM7-VI | |||
| 電源線纜 | UYCP | |||
| 尺寸（寬x深x高）mm | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 844 | ||
| 重量（kg） | 159 kg | 284 kg | ||
| 功耗 | 00-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A | 100-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A | ||
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
選件
| 物鏡 | 測(cè)量物鏡 | MM6-OB系列 （1X /3X /5X /10X） |
| 聚焦導(dǎo)航器 | 聚焦導(dǎo)航器裝置 | STM7-FN |
| 綠光LED裝置 | MM6-ILG | |
| 自動(dòng)聚焦 | 自動(dòng)對(duì)焦單元 | STM7-AF |
| 微分干涉對(duì)比度 | 用于反射光的U-DICR DIC插槽 | U-DICR |
| 軟件/相機(jī)*1 | 測(cè)量支持軟件 | STM7-BSW |
| 相機(jī) | 低端數(shù)碼相機(jī) | STM7-CU |
| 中端數(shù)碼相機(jī) | DP23-CU | |
| 數(shù)碼相機(jī) | DP28-CU | |
| TV適配器 | 帶0.5倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒 | U-TV0.5XC-3 |
| 帶0.35倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒 | U-TV0/35XC-2 | |
| 可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái) | 行程100 x 100 mm | STM7-RS100 |
| 行程200 x 200 mm | STM7-RS200 | |
| 行程300 x 300 mm | STM7-RS300 | |
| ND濾鏡 | ND濾鏡（透射率6%） | U-25ND6 |
| ND濾鏡（透射率25%） | U-25ND25 | |
| 微分干涉對(duì)比度 | 微分干涉對(duì)比度/偏振鏡 | U-PO3 |
| 微分干涉對(duì)比度/檢偏鏡 | U-AN360-3 | |
| 軟件 | MIA、EFI（可選軟件） | STM7-ASW-ME |
| 腳踏開(kāi)關(guān) | STM7-FS | |
| 電源裝置 | MM6-ILPS-2 | |
| 載物臺(tái)測(cè)微計(jì) | OB-M/OB-MM | |
*1 支持的相機(jī)因STM7-BSW版本而異。
1.3.3版或更早版本：STM7-CU
1.4.1版或更新版本：DP23/DP28
