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大平臺硅片檢測顯微鏡BMT-500E

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產品簡介

BMT-500大平臺硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中的檢測儀器之一.

詳細介紹

一、用途：
BMT-500大平臺硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中的檢測儀器之一.
二、技術參數(shù)
1.目鏡
類別放大倍數(shù) 視場(mm)
大視野目鏡 10X φ18
2.物鏡
類型放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑NA 工作距離（mm）
物鏡 4X 0.10 18.3
10X 0.25 8.9
PC20X 0.40 8.7
PC40X 0.65 3.7
3.光學放大倍數(shù)：40X -- 500X
4.濾色片組：黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6.載物臺：(配有快速移動裝置)尺寸：400*300mm 移動范圍：254*254mm[標配]
7.粗微同軸調焦機構，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/20W鹵素燈，亮度可調
9.防霉：的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):日本專業(yè)進口攝像頭或500萬高像素的數(shù)字攝像頭
三、系統(tǒng)組成
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-500E): 1、硅片顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像器(CCD) 4、A/D(圖像采集) 5、驅動軟件 6、數(shù)據(jù)線 7、計算機(選配)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-500E)：50--4000倍（17寸顯示器為例）
五、選購件
1.硅片專用測量軟件 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)