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NEXIV VMZ-H系列

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上海富萊光學(xué)科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

NEXIVVMZ-H系列NEXIXVMZ-H3030達(dá)到NEXIV系列中的zui高精度，兼具高度的易用性和高性能

詳細(xì)介紹

NEXIV VMZ-H系列

NEXIX VMZ-H3030達(dá)到NEXIV系列中的zui高精度，兼具高度的易用性和高性能。

VMZ-H3030以高精度為核心

VMZ-H3030提供300mm x 300mm x 150mm（X，Y，Z）機(jī)型，以及一系列高質(zhì)量的光學(xué)器件，標(biāo)配有TTL（通過鏡頭的）掃描激光器。該系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于提供精度測量。

NEXIV系列的zui高精度

由于其du家的設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)，VMZ-H達(dá)到了NEXIV系列中的zui高精度。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

5種光學(xué)變焦系統(tǒng)

有5種類型可供選擇，以滿足不同的視場和分辨率要求。

快速高度測量

高精度、快速高度測量通過高精度透鏡激光自動(dòng)對焦實(shí)現(xiàn)，能夠以每秒1000點(diǎn)的速度進(jìn)行快速掃描。

測量困難樣本的能力

利用尼康du家的照明配件，可以輕松測量難測的邊緣和特征。

不間斷自動(dòng)測量

即使部件定位發(fā)生變化，也可以實(shí)現(xiàn)jing確測量。

核心功能

尺寸

XYZ 量程	300x300x150 mm
最小讀數(shù)	0.01 μm
載重量	30 kg (精度保證: 10 kg)
允許誤差 (20 kg以下)	EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm
精度保證溫度	20 °C ± 0.5 K
驅(qū)動(dòng)速度 XY, Z	100 mm/s , 50 mm/s
最小驅(qū)動(dòng)速度 XY, Z	0.01 mm/s , 0.001 mm/s
相機(jī)	VGA 1/3“ 黑白, 彩色, XGA 1/3“ 黑白, 彩色 *彩色相機(jī)為選配，僅適用于 Type 1, 2 和 3.
工作距離	Type 1, 2, 3: 50 mm (使用75度外環(huán)光時(shí)僅10 mm) / Type 4: 30 mm Type TZ: 31 mm (低倍物鏡), 11 mm (高倍物鏡)
自動(dòng)對焦	影像, 激光
電源	AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
功耗	5A - 2.5 A
外型尺寸 (WxDxH) 和重量	主機(jī)帶底座: 1000 x 1125 x 1750 mm / 約 500 kg 控制箱: 190 x 450 x 440 mm / 約 15 kg
占地大小 (WxD)	3000×2800 mm

光源
Type 1, 2, 3 和 4	全白色LED反射, 透射, 3層8方向環(huán)光/Type 4 僅1層
Type TZ	反射, 透射, 暗場
電源	AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
功耗	5 A - 2.5 A