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自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12

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上海富萊光學(xué)科技有限公司

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AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查

詳細(xì)介紹

AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便

可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。

分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機(jī)型。

堅(jiān)固、可靠和安全傳送

延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。

薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。

宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。

自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格
	AL120-LMB12-LP3	AL120-LMB12-F
晶圓尺寸	300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm
卡盒	●FOUP（Front Opening Unified Pods）前開(kāi)門(mén)標(biāo)準(zhǔn)夾 ●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 ●FIMS-FOSB, FOSB	●FOSB（Front Opening Shipping Box）前開(kāi)門(mén)搬運(yùn)盒 ●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
卡盒數(shù)	單盒（裝載、卸載兼用）
卡盒設(shè)置高度	900 mm
裝載端口	有	無(wú)
搬運(yùn)順序	表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
檢查模式	全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準(zhǔn)	非接觸式中心環(huán)
晶圓搬運(yùn)方式	真空吸附機(jī)械搬運(yùn)
適用顯微鏡	半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L
應(yīng)用環(huán)境	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa 壓縮空氣0.5MPa～0.6MPa	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa
載物臺(tái)	XY手動(dòng)吸附載物臺(tái)，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
重量（不包括顯微鏡）	約360 kg	約270 kg