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全計(jì)算機(jī)控制的多功能離子減薄系統(tǒng)
全計(jì)算機(jī)控制的多功能離子減薄系統(tǒng),有高度的靈活性
主要特點(diǎn):
減薄角度可調(diào)由0º至90º
一體化設(shè)計(jì),重復(fù)性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,可靠具操作性
全電腦控制,精確的參數(shù)調(diào)整,運(yùn)行中無需人干涉
鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻
制冷系統(tǒng),銅傳導(dǎo),確保TEM,SEM在低溫下操作
主機(jī)內(nèi)置2級(jí)泵,確保高真空
減少裝卸時(shí)間,高效率
操作簡便直觀,帶自保護(hù)防止離子溢出與過熱功能
法拉力環(huán)檢查樣品是否穿孔,自動(dòng)終止功能
裝載閘保持系統(tǒng)高真空度穩(wěn)定不變
減薄過程中離子能量高低可調(diào)
內(nèi)置視頻監(jiān)視器,直接觀察樣品減薄情況
可編程,觸摸屏設(shè)計(jì),直觀操作
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