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AL120 晶圓搬送機(jī) Fosb

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上海永匯實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。穩(wěn)定且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和穩(wěn)定運(yùn)行。

詳細(xì)介紹

AL120-12晶圓搬送機(jī)

自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格
	AL120-LMB12-LP	AL120-LMB12-F
晶圓尺寸	300毫米（半米1.15 t=775微米）可選：200毫米
卡盒	●FOUP（前開統(tǒng)一吊艙）前開門標(biāo)準(zhǔn)夾 ●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 ●FIMS-FOSB， FOSB	●FOSB（前開式裝箱）前開門搬運(yùn)盒 ●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
卡盒數(shù)	單盒（裝載、卸載兼用）
卡盒設(shè)置高度	900 mm
裝載端口	有	無
搬運(yùn)順序	表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
檢查模式	全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準(zhǔn)	非接觸式中間環(huán)
晶圓搬運(yùn)方式	真空吸附機(jī)械搬運(yùn)
適用顯微鏡	半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L
應(yīng)用環(huán)境	AC100~120 V，220~240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67~-80 Kpa
載物臺(tái)	XY手動(dòng)吸附載物臺(tái)，有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
重量（不包括顯微鏡）	約360 kg	約270 kg