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更新時間：2024-08-14 09:52:59瀏覽次數(shù)：191次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)PECVD,支持定制，單片或卷對卷式PECVD
PECVD, 支持定制，單片或卷對卷式PECVD。
可用于沉積類金剛石、氧化硅、氧化鋁、氧化鈦、氮化物、硫化物等類型薄膜。
可用于聚合物薄膜沉積。
可選13.56兆赫、20kHz等離子體。
片式PECVD參數(shù)：
真空度10-3Pa，薄膜厚度：10nm-1um，溫度范圍：400攝氏度，基片大?。?英寸或根據(jù)用戶要求。設(shè)備尺寸：直徑350mm，高500mm。
價格35~55萬人民幣。
卷對卷式PECVD參數(shù)：
1分鐘100m，1.25m幅寬，卷厚度8um到50um，可用于食品包裝，起阻水阻氧作用。
參考價格500萬人民幣左右。
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