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MIT光學測試系統(tǒng)(wafer測試)

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廈門特儀科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

◆功能：主要針對wafer上每Die逐片點燈以進行光學性能

詳細介紹

◆功能：
主要針對wafer上每Die逐片點燈以進行光學性能，電氣性能 AOI檢測

◆規(guī)格：
wafer Probe：支持100mm/125mm/150mm/200mm Wafer
Cassette Loader，支持 Wafer自動上下料
客制化Prober Card，支持單通道&多通道測試
搭載151M光學光譜儀鏡頭，支持8K分辨率，支持最小子像素0.8um
支持色度亮度測試
主動防震臺支持VC-D/F等級
支持CIM&MES系統(tǒng)整合

◆特點:
·晶圓光學測試系統(tǒng)，8&12inch各種材質(zhì)晶圓;
·自動三軸運動控制;
·Wafer上下料，自動對位，自動測試;
·多功能夾具，支持8”&12”探針卡;
·多儀器搭載，支持AOI與光學測試。

項目	規(guī)格
尺寸	長寬高2.84m1.90m*2.40m
測試樣品大小	8”&12" wafer
光譜儀	CS-2000ASR-UL2/PR788/SR3
相機	4300萬,高分辨率CCD
運動系統(tǒng)	采用高精度伺服電機,高精度滾珠螺桿
功能	色度、亮度、均勻性、光譜測試等;支持:點、線面缺陷測試, mura測試
信號	支持特儀自制信號機以及市面通用品牌信號機,支持客制化信號,信號格式 TTL/LVDS/MIPI/HDMI/edp/2K&4K&8K等
電源	支持高精度多路直流電源輸出,以及客制化電源需求
軟件	特儀自主開發(fā)之軟件,全中文版,C#編程模塊化,操作簡單, UI界面可依據(jù)客戶需求進行定制,軟件自帶各標準測試手法,可以通過直接調(diào)用模式進行測試