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上海旦順實(shí)業(yè)有限公司
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上海旦順實(shí)業(yè)有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號COL-2D-PC
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地常州市
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更新時(shí)間：2025-04-14 12:00:51瀏覽次數(shù)：129次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實(shí)業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實(shí)現(xiàn)自動化烘烤，過程管理?？刂品奖?、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！
智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實(shí)業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實(shí)現(xiàn)自動化烘烤，過程管理?？刂品奖?、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！
無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 10/Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)高溫H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
烘箱主要參數(shù)介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300
規(guī)格尺寸：
型號 | 工作尺寸（mm） | 功率 |
COL-2D-HMI | W600×H500×D600*2 | 15Kw |
COL-2-HMI | W600×H600×D500 | 7.5Kw |
均勻度：±1.5%
潔凈等級：Class10 Class100（潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置）
升溫速度：常溫～+600℃,升溫速率：0~7℃/min，升溫斜率程序可控
降溫速度：降溫斜率程序可控
控制系統(tǒng)：歐姆龍PCL+10寸觸摸屏。
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