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行業(yè)產(chǎn)品

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上海旦順實(shí)業(yè)有限公司


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供應(yīng)百級(jí)無塵烘箱供應(yīng)商

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)COL-2D-PC

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地常州市

紡織服裝機(jī)械網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間:2025-04-22 06:30:30瀏覽次數(shù):113次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:219條

所在地區(qū):江蘇常州市

聯(lián)系人:蔣小姐

產(chǎn)品簡介

智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實(shí)業(yè)有限公司自主研發(fā),基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化烘烤,過程管理??刂品奖?、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造,大大提高生產(chǎn)效力!

詳細(xì)介紹

智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實(shí)業(yè)有限公司自主研發(fā),基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化烘烤,過程管理??刂品奖?、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造,大大提高生產(chǎn)力!

無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘(Hard baking)等工藝,適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCDTFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。

特點(diǎn):

1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 10/Class 100

2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;

3.采用進(jìn)口SUS304#日制8002mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)PARTICLE

4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)高溫H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過濾效率99.99%Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)

烘箱主要參數(shù)介紹:

溫度范圍:室溫+20℃~300

規(guī)格尺寸:

型號(hào)

工作尺寸(mm)

功率

COL-2D-HMI

W600×H500×D600*2

15Kw

COL-2-HMI

W600×H600×D500

7.5Kw

均勻度:±1.5%

潔凈等級(jí):Class10  Class100(潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置)

升溫速度:常溫~+600,升溫速率:0~7/min,升溫斜率程序可控

降溫速度:降溫斜率程序可控

控制系統(tǒng):歐姆龍PCL+10寸觸摸屏。


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