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衍射儀薄膜測量裝置

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品       牌

廠商性質其他

所  在  地丹東市

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更新時間：2024-03-07 18:46:47瀏覽次數：147次

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所在地區(qū)：遼寧丹東市

聯系人：苗經理

產品簡介

衍射儀薄膜測量附件由多層膜反射鏡和三維薄膜樣品架組成，實現對大于20nm薄膜樣品測量

詳細介紹

      衍射儀薄膜測量附件由多層膜反射鏡和三維薄膜樣品架組成，實現對大于20nm薄膜樣品測量?？蓪崿F對薄膜樣品進行薄膜反射分析XRR(針對多晶、單晶多層薄膜厚度、密度、粗糙度進行精確分析）、薄膜掠入射分析GIXRD(精確分析多層膜中材料的組成、次序、取向等)。

三維薄膜樣品架
      四維薄膜樣品架與測角儀安裝設有定位裝置，激光測距定位衍射面，安裝、拆卸方便，即插即用，無需調整光路。可測量樣品尺寸：φ70×10mm（或按用戶要求設計可以測量樣品尺寸）、樣品升降精度（Z）軸：1μm。
      平行光源由多層膜反射鏡（Göbel Mirror）和腔體及腔體調整機構組成，安裝機構與衍射儀前索拉狹縫體實行互換，平行光源在出廠前已經調整好了，操作人員不需要調整。

Göbel Mirror鏡平行光發(fā)散度小于0.028°，反射效率大于70%

薄膜樣品XRR衍射譜圖

搖擺測量衍射譜圖

薄膜掠入射分析GIXRD測量

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