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行業(yè)產(chǎn)品

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杭州科瑞達(dá)實(shí)驗(yàn)器材有限公司


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在線式等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)YSP系列

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2023-12-10 12:13:00瀏覽次數(shù):120次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高頻輸出:600W(YSP600U、YSP63FA)/2,000W(YSP2KU)反應(yīng)臺(tái)尺寸:300×300mm(YSP600U)/600×600mm(YSP2KU)/385×362mm(YSP63FA)YSP600U/2KU:樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合

詳細(xì)介紹

高頻輸出:600W(YSP600U、YSP63FA)/2,000W(YSP2KU)

反應(yīng)臺(tái)尺寸:300×300mm(YSP600U)/600×600mm(YSP2KU)/385×362mm(YSP63FA)

YSP600U/2KU:樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合。

■ 用途

●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理

● 清洗各類基板。

● 電子部品、材料表面改質(zhì)。

● 去除有機(jī)物和自然氧化膜。

■ 特征

● 體積小,節(jié)省空間。

● 選用小型腔體,反應(yīng)效率高。

● 更容易嵌入生產(chǎn)線使用。

● 可通過操作面板自由切換等離子模式。

● 配備冷卻反應(yīng)臺(tái)。

YSP63FA:可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制。

■ 特征

● 操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動(dòng)處理、取出收納盒。

● 軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。

● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。

● 可通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作(選購品)

■ 規(guī)格

型號(hào)

YSP600U

YSP2KU

YSP63FA

模式

RIE(DP模式選購)

高頻輸功率

600W

2000W

600W

反應(yīng)臺(tái)尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

W385×D362mm

內(nèi)腔尺寸

-

-

W395×D378×H45mm(內(nèi)尺寸)

反應(yīng)氣體

2進(jìn)氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣)

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

真空泵

-

-

旋轉(zhuǎn)式真空泵(約500L/min)

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)



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