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Harrick PDC-32G-2-等離子清洗機

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更新時間：2023-09-29 10:02:26瀏覽次數(shù)：441次

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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

Harrick Plasma是國際的等離子清洗器生產(chǎn)商，在業(yè)內(nèi)已經(jīng)有三十多年的經(jīng)驗。他所生產(chǎn)的小型等離子清洗器Harrick PDC-32G-2基本型結(jié)構(gòu)緊湊、質(zhì)量可靠、性價比高...

詳細介紹

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1. 產(chǎn)品簡介：

Harrick Plasma是國際的等離子清洗器生產(chǎn)商，在業(yè)內(nèi)已經(jīng)有三十多年的經(jīng)驗。他所生產(chǎn)的小型等離子清洗器結(jié)構(gòu)緊湊、質(zhì)量可靠、價格合理；廣泛地被大中院校、科研機構(gòu)、企業(yè)研發(fā)機構(gòu)和實驗室采用。其產(chǎn)品主要應(yīng)用在材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)藥材料學(xué)、微流體研究、微電子機械系統(tǒng)研究、光學(xué)、顯微術(shù)、牙科醫(yī)療等領(lǐng)域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學(xué)改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。

2. 主要特征：
1）臺式設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊精致
2）低、中、高三檔可調(diào)節(jié)功率，可為18W
3）設(shè)備輻射小，安全環(huán)保

3. 基本參數(shù)：

1）外形尺寸：8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）

2）重量：6.0kg

3）輸入電源： 220 V／50Hz

4）輸入功率： 100 W

5）功率檔：
        低檔680V DC、10mA DC、6.8W
        中檔700V DC、15mA DC、10.5W
        高檔720V DC、25mA DC、18W

4. 常用工作氣體：
空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等

5. 基本配置：
1）直徑3英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
2）可拆卸艙蓋。
3）為18W的RF線圈。
4）1/8英寸NPT針閥
5）1/8英寸NPT三通閥

6. 選配件：
1）石英等離子清洗艙
2）石英托盤（用于放置樣品）
3）氣體計量混合器Plasma FloTM

7. 周邊設(shè)備：
基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）

8. 可選件：

選件一：氣體計量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡介：
1）Harrick PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。

2）可應(yīng)用于樣品的表面改性。
3）在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
4）為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
5）含兩個標(biāo)準的氣體流量計(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
6）溫差電偶真空度表測量艙內(nèi)壓力
7）適用氣體：空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。
8）尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D

選件二：真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供兩種可選型號：
1、PDC-VP-2 (220V)
1）抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
2）極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān))：1.5 mTorr
3）極限壓力(氣鎮(zhèn)開)：23 mTorr
4）電機功率：(50/60 Hz): 250/300 W
5）重量: 34 lbs
6）尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 (220V)

1）抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
2）極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān)): 7.5 mTorr
3）極限壓力(氣鎮(zhèn)開: 150 mTorr
4）電機功率(50/60 Hz): 373 W
5）重量: 27 lbs
6）尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"