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白光干涉儀ZeGage 3D 光學(xué)輪廓儀

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產(chǎn)品型號(hào)ZeGage

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:267條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:馬經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ZeGage系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強(qiáng)大的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測(cè)量分析。所有的測(cè)量都無(wú)損、快速,并且不需要樣品制備。強(qiáng)大的分析軟件可以精準(zhǔn)的描繪和定量分析表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。

詳細(xì)介紹

系統(tǒng)參數(shù):

原理 非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置: 長(zhǎng)范圍 Z 軸調(diào)節(jié)
物鏡: 無(wú)限共軛干涉物鏡:標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;長(zhǎng)工作距離:1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表
視場(chǎng): 跟所選物鏡有關(guān)
光源: 長(zhǎng)壽命白光 LED,計(jì)算機(jī)控制光強(qiáng)
物鏡座: 螺紋物鏡座(標(biāo)準(zhǔn));
選件: 可快速裝卸單物鏡夾具(可選);電控或手動(dòng) 4 位物鏡塔臺(tái)(可選)。
輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦
測(cè)量陣列: 1024×1024
樣件觀察: 軟件集成交互式實(shí)時(shí)觀察
Z 軸: 100mm 行程,主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度,以優(yōu)化工作距離
樣品臺(tái)控制: USB 控制器,人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的拇指控制按鈕,可控制速度和聚焦模式切換
安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動(dòng)功能
樣品臺(tái): 手動(dòng),俯仰傾斜±4°; 手動(dòng)XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件
計(jì)算機(jī): 高性能DELL計(jì)算機(jī), 寬屏1080P LCD,64位,Windows 7系統(tǒng)
軟件: ZeMapsTM
尺寸(HWD): 系統(tǒng):156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主機(jī):82x53x53cm
重量: ZeGage 主機(jī):54Kg; 工作臺(tái):37Kg
性能:
縱向掃描范圍:≤ 20 mm,(受限于物鏡工作距離)
表面形貌重復(fù)性:<3nm(根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部,附件 D)
光學(xué)分辨率(橫向):0.52um ~9.50um,與所選物鏡有關(guān)
掃描速度: ≤ 23 um/秒
數(shù)據(jù)點(diǎn): 1,048,576
臺(tái)階測(cè)量: 準(zhǔn)確度 ≤ 1%; 重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ
被測(cè)樣品特性:
材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
反射率:1-99%
環(huán)境要求:
溫度: 15-30℃
溫度變化率: <1.0°C/15分鐘
濕度: 相對(duì)濕度 5%-95%,無(wú)凝結(jié)
隔振: 不需要
振動(dòng)準(zhǔn)則: VC-C 或有更好的推薦

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