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Park NX-Hivac

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產(chǎn)品型號NX-Hivac

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地上海市

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更新時(shí)間：2025-05-31 10:47:47瀏覽次數(shù)：14次

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上海洛豐精密檢測儀器有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：267條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：馬經(jīng)理

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產(chǎn)品簡介

Park NX-Hivac是一種的高真空原子力顯微鏡，旨在為在高度摻雜的半導(dǎo)體進(jìn)行精確的失效分析。Park NX-Hivac是一臺高真空原子力顯微鏡，利用Park的招牌技術(shù)，并提供可重復(fù)且容易實(shí)現(xiàn)的高清晰度和低噪聲的測量，使其成為提高實(shí)驗(yàn)室效率和準(zhǔn)確性的好選擇。

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)：

◆的StepScan自動(dòng)化掃描和更快的掃描激光校準(zhǔn)技術(shù)

◆多樣品模塊

◆Park招牌技術(shù)便捷的針尖替換

◆大型真空腔300mm X 420mm X 320mm

◆提供較長觀測距離的同軸光學(xué)設(shè)備

◆用于提高靈敏度的高真空SSRM

規(guī)格參數(shù)：

型號		Park NX-Hivac
掃描儀	XY掃描儀	50um50um(可選100um100um)
	Z掃描儀	15um
	形貌噪音	<0.03nm(標(biāo)準(zhǔn)值0.02nm）
光學(xué)	物鏡	10X 500萬像素CCD
電子	ADC	18個(gè)頻道 4個(gè)高速ADC頻道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置傳感器
電子	DAC	12個(gè)頻道 2個(gè)高速DAC頻道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3個(gè)頻道的集成鎖定放大器
樣品臺	XY平臺行程	22mm x 22mm
樣品臺	樣品尺寸	高達(dá)50mmX50mm最多厚20mm
軟件	SmartScan	Park原子力顯微鏡操作軟件
	XEI	原子顯微鏡數(shù)據(jù)分析軟件
	HIVAC Manager	自動(dòng)真空控制軟件
高真空	真空高	通常小于1 X 10-5托
高真空	抽氣速率	5分鐘之內(nèi)可達(dá)到10-5托
物理信息	真空室（內(nèi)）	300mm（長）X420mm（寬）X320mm（高）