白光干涉儀概述：

　　Rtec在加利福尼亞硅谷制造。已被多個實驗室、大學(xué)和行業(yè)使用。UP系列在一個頭上組合了4種成像模式。能夠在同一測試平臺上運行多種測試，只需單擊按鈕，就能轉(zhuǎn)換成像模式。這種組合可以輕松地對任何表面進(jìn)行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢，并且各項技術(shù)彼此互補。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。

　　3D光學(xué)輪廓儀組合

　　1.白光干涉儀；

　　2.旋轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡；

　　3.暗視野顯微鏡；

　　4.明視野顯微鏡。

　　主要平臺規(guī)格：

　　產(chǎn)品規(guī)格：

　　1.標(biāo)準(zhǔn)電動平臺150x150mm(可選210x310mm)

　　2.標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)塔，電動轉(zhuǎn)塔可選

　　3.垂直范圍可達(dá)100mm

　　4.傾斜階段6度

　　5.XY平臺分辨率0.1um

　　6.自動拼接楷模

　　Sigma頭 - 白光干涉儀

　　Lambda頭 - 白光干涉儀+共焦+暗場+明場

　　應(yīng)用

　　粗糙度；體積磨損；臺階高度；薄膜厚度；形貌

　　測試圖像示例：

　　以上為雙模式三維表面輪廓儀拍出的樣品形貌。在同一平臺上結(jié)合使用多種光學(xué)技術(shù)，測試儀可以測量幾乎任何類型的nm分辨率樣品。該表面輪廓儀配有功能強大的分析軟件，符合多種標(biāo)準(zhǔn)。雙模式三維表面輪廓儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)自動化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。