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SU9000超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的半導(dǎo)體器件，高分辨成像所設(shè)計(jì)。新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能。采用全新設(shè)計(jì)的Super E x B能量過濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號(hào)。0.4 nm / 30 kV (SE)1.2 nm / 1 kV (SE)0.34 nm / 30 kV (STEM)

詳細(xì)介紹

SU9000.jpg


專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的半導(dǎo)體器件，高分辨成像所設(shè)計(jì)。


  • 新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能。


  • 采用全新設(shè)計(jì)的Super E x B能量過濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號(hào)。

  • 0.4 nm / 30 kV (SE)
    1.2 nm / 1 kV (SE)
    0.34 nm / 30 kV (STEM)




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