深圳市群隆儀器設備有限公司
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閱讀：10發(fā)布時間：2025-6-24
靶材為什要測量密度？秒準靶材密度計的優(yōu)勢在哪里？
靶材本身的致密度，靶材的致密度很高時，不易吸附，無空隙，背靶易脫落。
為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。
靶材在生產制造的過程中需要對其密度進行測試，采用的方法是阿基米德原理，儀器自動計算出靶材密度g/cm3。目前生產的測試采用人工對靶材進行測量，由于靶材重量大，操作不便，不利于手動計算測試密度。因此需要一種專用密度儀進行操作。因此解決這一問題就顯得十分必要。
如何測量靶材的密度？
陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應用于各種靶材材料。按材質分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應用領域分類靶材可分為半導體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原理：根據(jù)ASTM B311、B328；MPIF 42、57；JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738?？蛇m用于煮沸法、真空飽和法量測，采用阿基米德原理浮力法，準確直讀量測數(shù)值。
秒準靶材密度計經過市場10幾年的驗證以及不斷的研發(fā)升級，現(xiàn)已具備以下特點：
1、數(shù)顯直讀，無需人工計算，直接顯示密度和體積等參數(shù)。
2、全彩7寸觸摸屏操作，自帶打印功能，可編輯帶公司名稱物料編碼的數(shù)據(jù)報告。
3、采用梅特勒傳感器，測量精準、操作簡便、穩(wěn)定耐用。
4、具有實際水溫補償功能，可適應測試環(huán)境變化。
5、可設定媒介液密度，使用水作介質，也可使用其它液體介質。
6、采用SUS304一體水槽，耐腐蝕耐摔，底部設計萬向輪，便于移動。
7、含USB通信接口，方便與電腦連接。
8、內置排水系統(tǒng)，方便換水。
功能描述：
1、直接讀取靶材工件的密度和體積。
2、直接讀取多孔材料體密度、濕密度、視密度、視孔隙率、吸水率、開孔體積、封孔體積、總孔隙率。
特別備注：秒準靶材密度計支持非標定制，已經為多家用戶實現(xiàn)自動化密度測試儀非標定制，搭配機械手/吊機，自動完成密度測試，自動輸出數(shù)據(jù)。
技術參數(shù)：
品牌 | MAYZUM（保修期：三年） | |||
型號 | MAY-AE10 | MAY-AE30 | MAY-AE50 | MAY-AE80 |
稱重 | 0.1g-10kg | 0.1g-30kg | 0.5g-50kg | 2g-80kg |
密度精度 | 0.001 g/cm3 | |||
密度范圍 | 0.001~99.999g/cm3 | |||
吸水率 | 吸水率、孔隙率0.1% | |||
水槽尺寸 | 水槽尺寸：1.2*1*1.2m（長寬高），依據(jù)客戶工件尺寸定制最終尺寸 | |||
測量時間 | 約5秒 | |||
測量步驟 | 放水中吊籃上，按保存鍵密度和體積直接顯示，并打印數(shù)據(jù)報告。 | |||
結果顯示 | 體密度、濕密度、視密度、視孔隙率、吸水率、開孔體積、封孔體積、總孔隙率 | |||
參數(shù)設定 | 水溫設定、媒介液體密度設定 | |||
校正方式 | 一鍵自動校正 | |||
輸出方式 | RS-232C標準通信接口、方便測試數(shù)據(jù)輸出與打印 | |||
溫濕度范圍 | 允許環(huán)境溫度：0~45℃；允許相對濕度：80%以內 | |||
電 源 | AC~220V / 50HZ（出口電源需定制，訂貨前提前注明即可） | |||
操作面板 | 4.寸觸摸屏 | |||
標準配件 | ①主機一臺、②測量組件一套、③電源變壓器一個、④打印紙1卷 | |||
選購配件 | □MZ-300KPA工業(yè)真空浸潤機 | |||
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