半導體流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內的流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，超高的集成度使該產(chǎn)品能夠縮小一半體積，可以更好的適用于空間要求嚴格的安裝場所。
 

　　產(chǎn)品應用于：半導體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比
 

　　半導體流量控制器產(chǎn)品特點：
 

　　溫度和壓力不敏感
 

　　設計勁湊，可安裝任意位置
 

　　*的零點穩(wěn)定性
 

　　超快的響應速度
 

　　良好的重復性和再現(xiàn)性
 

　　采用液晶觸控顯示和控制
 

　　配備比例電磁閥