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主要特征:
? *的全鋁技術(shù)，橫梁與Z軸采用表面硬質(zhì)陽(yáng)極化航空鋁合金，溫度一致性更佳；
并降低了運(yùn)動(dòng)部件的重量和測(cè)量機(jī)在高速運(yùn)行時(shí)的慣性，保證高速高精度；
? 三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌不易磨損
? 三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um；
同時(shí)采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮
? X向采用精密60°三角梁技術(shù)，相比矩形橫梁，重心更低，質(zhì)量剛性比更佳，運(yùn)動(dòng)更加可靠
? Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，在降低機(jī)器重量的同時(shí)，有效消除了運(yùn)動(dòng)扭擺，保證了測(cè)量精度和穩(wěn)定性
? Z向采取獲得的氣動(dòng)平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問(wèn)題，
提高了測(cè)量機(jī)的精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性
? 各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，確保運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位
? 采用?？怂箍禐镃roma專(zhuān)業(yè)打造的IDC-Ⅰ控制系統(tǒng)，21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能，保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度
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