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Aerotech ABL系列氣浮精密定位平臺

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更新時間:2020-02-15 14:48:54瀏覽次數(shù):1128次

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商鋪產品:91條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

聯(lián)系人:張生 (銷售主管)

產品簡介

供應Aerotech ABL系列氣浮精密定位平臺詳細介紹

Aerotech ABL系列氣浮軸承直驅直線運動平臺,擁有超高精度的定位功能,精度在0.2~0.5um之間。

詳細介紹


供應Aerotech ABL系列氣浮精密定位平臺詳細介紹

    Aerotech ABL系列氣浮軸承直驅直線運動平臺,擁有超高精度的定位功能,精度在0.2~0.5um之間。

設計特點

·         專為高性能掃描和檢查而設計

·         所有空氣軸承表面上的有效空氣預載

·         線性編碼器反饋提供亞納米分辨率

·         高剛性,可承受重載,并具有出色的幾何性能

·         行程達500毫米
 

前沿制造業(yè),特別是在半導體和數(shù)據(jù)存儲行業(yè)中,要求的定位公差超出了傳統(tǒng)滾珠絲杠和機械軸承定位系統(tǒng)的能力。ABL1500空氣軸承臺具有*主動的預緊力,*的剛度和出色的幾何特性,專門為滿足這些需求而設計。

空氣軸承設計,實現(xiàn)高動態(tài)性能

ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預載功能。相對的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負載分配到較大的表面積上之外,這種設計還可以使平臺具有出色的剛度,非常適合重載或偏載。

專有的制造技術導致了具有無法超越的幾何特征的階段??諝廨S承具有固有的平均效應,可限度地提高性能。薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規(guī)則性。此特性可產生出色的螺距,滾動,偏航,直線度和平坦度規(guī)格。

直線電機驅動

此階段的驅動力是Aerotech的BLMC系列無刷線性伺服電機。該設計體現(xiàn)了Aerotech作為電機制造商的悠久歷史和經(jīng)驗。BLMC使用無鐵力,這意味著零齒槽效應和無吸引力,從而實現(xiàn)了的運動平穩(wěn)性。BLMC能夠產生高的力和速度,代表了功率和性能的結合。

零維護

我們的*非接觸式空氣軸承,非接觸式線性電動機驅動器和非接觸式反饋設備確保了Aerotech設備所期望的高性能水平下的多年免維護運行。由于運動元件之間沒有機械接觸,所以隨著時間的流逝,ABL1500不會遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是無限的,并且由于沒有潤滑-只有清潔,干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫(yī)療應用的理想選擇。

電纜管理

我們精心優(yōu)化電纜彎曲半徑,以確保多年*運行。萬一發(fā)生故障,Aerotech的模塊化設計使電纜更換變得快速簡便,停機時間少。我們將所有客戶要求的電纜,空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中,以便于集成到終系統(tǒng)中。兩端*連接,可輕松集成到客戶的機器中。

技術指標

機械規(guī)格

模型

ABL1500-050

ABL1500-100

ABL1500-200

旅行

50毫米

100毫米

200毫米

準確性(1)

E1

已校準

±0.3微米

±0.3微米

±0.5微米

標準

±2.0微米

±4.0微米

±8.0微米

E3

已校準

±0.2微米

±0.2微米

±0.4微米

標準

±1.0微米

±2.0微米

±5.0微米

重復性

(雙向)(1)

E1

±0.1微米

±0.2微米

E3

±0.05微米

±0.05微米

±0.1微米

直線度(1)

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

平面度(1)

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

瀝青

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

偏航

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

速度

2 m /

加速度

2克(空載)

力(連續(xù))

93.6 N

載重量(2)

臥式

35公斤

25公斤

運營壓力

80 psi±5 psig

耗氣量

24-30 SLPM @ 551 kPa(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

移動質量(空載)

5.1公斤

舞臺質量

14.7公斤

16.0公斤

18.6公斤

材料

MTBF(平均*時間)

30,000小時

·         通過每個階段的認證。

·         列出了軸上加載的軸方向。

·         規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用,請咨詢工廠。

·         為了防止空氣軸承承受負壓,建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。

·         供氣必須清潔,干燥至0°F露點并過濾至0.25 ?m或更高;建議使用純度為99.9%的氮氣。

·         對于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。

 

模型

ABL1500-300

ABL1500-400

ABL1500-500

旅行

300毫米

400毫米

500毫米

準確性(1)

E1

已校準

±0.5微米

±0.6微米

±0.6微米

標準

±12.0微米

±16.0微米

±20.0微米

E3

已校準

±0.4微米

±0.5微米

±0.5微米

標準

±5.0微米

±5.0微米

±5.0微米

重復性

(雙向)(1)

E1

±0.2微米

±0.3微米

E3

±0.15微米

±0.2微米

直線度(1)

±0.75微米

±1.5微米

±2.0微米

平面度(1)

±0.75微米

±1.5微米

±2.0微米

瀝青

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

偏航

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

速度

2 m /

加速度

2克(空載)

力(連續(xù))

93.6 N

載重量(2)

臥式

35公斤

25公斤

運營壓力

80 psi±5 psig

耗氣量

24-30 SLPM @ 551 kPa(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

移動質量(空載)

5.1公斤

舞臺質量

21.3公斤

23.9公斤

26.5公斤

材料

MTBF(平均*時間)

30,000小時

·         通過每個階段的認證。

·         列出了軸上加載的軸方向。

·         規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用,請咨詢工廠。

·         為了防止空氣軸承承受負壓,建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。

·         供氣必須清潔,干燥至0°F露點并過濾至0.25 ?m或更高;建議使用純度為99.9%的氮氣。

·         對于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。

ABL系列定位平臺優(yōu)點:

?幾何性能的氣浮導軌

?1.2 m x 1.2 m 的行程

?光柵尺或激光回饋干涉儀

?亞微米定位精度

?XY 和 XYZ 集成系統(tǒng)

?無槽直接驅動電動機

同時我們還提供其他型號的納米級直線、旋轉高精密運動平臺,比如 pro系列,ANT95系列等等。

高控科技  張巨鵬   1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8


供應Aerotech ABL系列氣浮精密定位平臺詳細介紹


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