廣州迪川儀器儀表有限公司
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產品簡介：MF4300系列氣體質量流量計是2008年發(fā)布的MF4000系列氣體質量流量計的第三代升級版
產品簡介：
MF4300系列氣體質量流量計是2008年發(fā)布的
MF4000系列氣體質量流量計的第三代升級版。
MF4300 采 用 本 公 司 專 有 的 系列氣體質量流量計
MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術和智能電子
技術。與市場上傳統的量熱式流量傳感技術相比，這種獨
特的時域流量傳感技術消除了一些常見氣體的敏感性。而
對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現氣體識別。
MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結合防水、防
油納米涂層，產品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量
傳感技術還提供了更好的線性度，并使溫度效應大幅降
低。
MF4300系列氣體質量流量計能直接測量氣體質量流
量， 工作壓力提高到 適用于各類清潔、干燥氣體。MF4300
1 0MPa 0 10SLPM 0 200SLPM . ，測量范圍涵蓋 ~ 到 ~ 。 2
MF4300 多種信號輸出，通過RS485 I C 通訊接口 提供 或 數字
可實現 。MF4300具備LED數字顯示和 遠程數據采集與設置
按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢流量計的參數
產品特點：
質量流量，時域傳感技術
量程比100：1
全量程高度和優(yōu)良的重復性
可測量多種氣體不需要特別修正
模擬電壓、RS485 Modbus、I C等多種輸出信號 2
支持多種連接方式，易于安裝與使用
工作原理：
MF4300系列的氣體質量流量計是基于迪川儀器儀表有
限公司研制 流量傳感芯片，其原理是利用流動氣 MEMS
到氣體的質量流量。
該流量計的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感
器。當沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩(wěn)
定的溫度場分布。當有氣體流過時，微熱源周邊會形成新
的溫度場分布。MEMS芯片上的溫度傳感器將測量到具體的
溫度變化并轉換為電信號，經放大、調理和線性化處理
后，通過LED顯示或模擬、數字信號輸出。由于不同種類的
氣體對微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產生的溫度變
化不同，所以能測量氣體的質量流量。
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