一、 產(chǎn)品概述

采用關(guān)鍵機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償。

二、 技術(shù)參數(shù)

2.1 測(cè)量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2 流量范圍： DN3 100-1000ml/min

DN4 250-2500ml/min

DN6 1000-10000ml/min

DN8 1500-15000ml/min

DN10 2500-25000ml/min

DN18 10-100SLM

注：(a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言；

(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。

(c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大

((d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定

2.3 流量測(cè)量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4 工作溫度范圍：0-55℃；

2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6 供電電源：24VDC±10%；

2.7 輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；

2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；

2.9 顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。

三、 工作原理

uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度一致，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)無法保證其傳感器的電阻值的一致性，導(dǎo)致傳感器在各個(gè)法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在傳感器校準(zhǔn)和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)大定性存在問題，實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計(jì)，同時(shí)可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上，一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高。當(dāng)傳感器工作時(shí)，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場(chǎng)分布。如果氣體是單向流動(dòng)，則在氣道中溫度場(chǎng)可用下述公式來計(jì)算：

式中：氣體流動(dòng)方向?yàn)?/span>ｘ，速度為ｖ，ａ為擴(kuò)散率。

如上圖（式）所示，當(dāng)氣體流過芯片時(shí)，將會(huì)帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對(duì)應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。

四、產(chǎn)品特點(diǎn)

1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號(hào)輸出一體，并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)、控制閥門。

2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計(jì)的微流量測(cè)量靈敏度顯著提升。

3、微小流量氣體測(cè)量，ml/min級(jí)的微流量測(cè)控，實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量的數(shù)字化。

4、單個(gè)芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計(jì)的量程范圍大大提高。

5、機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì)，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠。

5、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計(jì)的壓力損失達(dá)到最小化。

6、采用國際的MF傳感技術(shù)，使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠。

7、零點(diǎn)自校功能，測(cè)量更準(zhǔn)確。

8、多種氣體實(shí)際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償。

9、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)，配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。

10、規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定。

11、精度等級(jí)高，滿足用戶高精度測(cè)量要求。

12、的流量計(jì)報(bào)警功能，使監(jiān)控更可靠。

13、操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。

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14、運(yùn)用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級(jí)換代的。

1五、產(chǎn)品分類與命名

微氣體質(zhì)量流量計(jì)的型號(hào)命名